三坐標測量機是一款高精度測量儀器，它在使用過一段時間后，在精度不好的情況下要對機器精度進行補償，精度補償是需要專業技術工程師，以及專業的量塊來對其進行精度校驗，校驗三坐標具體方法如下，確認測座裝置方向與三次元坐標軸方向共同，假如拆卸了測座，要進行找正。測座固定牢靠，測頭、測針的裝置牢靠（裝置應使用工具），寶石球清潔、無破損，加長桿裝置長度與測頭或吸盤的負載才能協調。

規范球與臺面（或支撐）固定牢固，各銜接關節緊固。球體無損傷，外表清潔軟件中三坐標測座、測頭、加長桿、測針設置正確（測桿長度輸入正確），測頭使用方位界說正確（防止使用時發現缺項，寧多無少）。

規范球直徑輸入正確（有必要是校準證書或合格證中的實在值），測頭校對速度設置與丈量時共同。單個測頭方位校對，留意調查三次元測量儀測針直徑和規范差錯，三坐標測針直徑應與平時校對相近且重復性好，規范差錯盡量小，（測頭前加長桿長時，直徑小，差錯大）多個三坐標測頭方位校對時，除要調查以上成果外，還要用校對后的各個三坐標測頭方位測量規范球，調查球心坐標值的變化，數值應與示值差錯或探測差錯相近。使軟件得到三次元測量機測針寶石球的 等效直徑 ,自動進行 測頭半徑的補償！